Het MERCURY systeem is een halfautomatische batch-sprayprocessor ontworpen voor 250nm- en 180nm-technologieën, die waferformaten van 100mm tot 200mm ondersteunt. Het systeem is geschikt voor temperaturen tot 120°C op de wafer. Met de juiste upgrades kan de MERCURY kleinere afmetingen aan, tot 130 nm of 90 nm. De precisiesproeitechnologie zorgt voor een hoge uniformiteit en nauwkeurigheid bij het reinigen, strippen van weerstanden en etsen op kleinere schaal. Voor nodes kleiner dan 90 nm zijn upgrades nodig zoals verbeterde chemische toediening, procesbesturing en contaminatiebeheer om aan de strenge proceseisen te voldoen.

Het systeem biedt gesloten verwerking in een gecontroleerde, met stikstof gezuiverde omgeving om de overdracht van vervuiling te elimineren. Het spoelt en droogt wafers nadat alle chemische cycli zijn voltooid en levert een uniforme aanvoer van verse chemicaliën voor elk proces. Het MERCURY systeem richt zich op prestatieniveaus gebaseerd op 0,25 µm en 0,18 µm geometrie SEMI ontwerpregels.

De belangrijkste voordelen van het MERCURY systeem zijn lage kapitaal- en eigendomskosten in een compact formaat, waardoor het ideaal is voor fabrieken die een hoge verwerkingscapaciteit en kostenefficiëntie nastreven. De flexibiliteit van het systeem past bij opkomende markten zoals voedingsapparaten, MEMS en sensoren. Met minimale aanpassingen aan de hardware kan het systeem waferbatches van 100mm, 150mm en 200mm verwerken, waardoor de productieflexibiliteit gegarandeerd is.

Toepassingen:

• Front-end-of-line (FEOL) fabricage: Geïntegreerde circuits of transistors vormen op silicium wafers.

• Back-end-of-line (BEOL) fabricage: Metalen bedradingsniveaus vormen op het wafeloppervlak.

• Waferreiniging en oppervlaktevoorbereiding van verpakking: Noodzakelijke reiniging, etsen en strippen voor micro-elektronische apparaten.

Procestoepassingen:

• SPM, dHF, SC1, SC2 reinigt

• Post-etch en post-ash reiniging

• Toepassingen voor fotolakstrips

• Nat etsen/strippen van metaalfilms voor silicide

• BEOL-nareinigingen

MERCURY MP

BATCH SPROEIREINIGINGSSYSTEEM