FSI MERCURY MP:

私たちは、（潜在的な）お客様に幅広いサービスオプションを提供しています。MERCURYシステムの再生/再製造プログラムに加え、MERCURY MP全機種（0106 / 0107 / 0113）のPLCアップグレード、据付、スタートアップ、デインストール、デコミッショニング、トラブルシューティングなど、さまざまなサービスを提供しています。

また、流量計、ターンテーブル、モータードライブ、ドレンバルブ、バルブコントロールオペレーター、ブランケットヒーターなどのスペアパーツの修理・再生プログラムも行っています。当社のサービスには、システムのレトロフィット、リビルド、アップグレード、標準およびカスタムメイドのアセンブリも含まれます。

FSI MERCURY、ZETA、SATURN/TITANのキット、Assy's、標準/特注オプションを含むスペアパーツの豊富な在庫があり、労働と部品の両方の保証を提供します。また、固定価格での予防メンテナンス／サービス契約、CE認証、アップグレード／改造サービス、PVC/FRPPキャビネットのFM4910準拠素材への再生も行っております。

ご興味のある方はお気軽にお問い合わせください。

改装サービスとスペアパーツ

注目のレトロフィット

FSI MERCURY MP PLCコンピュータの改修

FSI MERCURY半導体ウェットプロセス装置の再生と再製造で大きな成功を収めた当社のレトロフィットをご覧ください。私たちの努力は、不良品ゼロを達成し、生産歩留まりを向上させるというお客様の目標を大きくサポートしてきました。私たちは、これらの重要なツールに命を吹き込み、品質と性能の最高基準を満たすことを保証する能力に誇りを持っています。マーキュリー機器の機能を復活させ、最適化することで、お客様の製造効率と全体的な生産性の向上に貢献してきました。卓越した技術と細部へのこだわりにより、当社は半導体業界で信頼されるパートナーとなっています。

0107 MERCURY CE1のリビルト／アップグレード

MERCURYは、さまざまなサイズのウェーハに対応する汎用性の高さで知られる高効率バッチ式スプレー洗浄装置ですが、制御部品、特に0106/0107-toolsの老朽化という課題に直面していました。しかし、当社が新たに開発したアップグレードキットを使用すれば、これらの制御部品を交換することができ、MERCURYはさらに長年にわたって稼働し続けることができます。このアップグレードは、陳腐化の問題を解決するだけでなく、システムの寿命と機能性を向上させ、バッチスプレー洗浄における高い効率性を維持することを可能にします。アップグレードキットを使用することで、ユーザーはMERCURYが優れた洗浄性能と様々なウェーハサイズへの適応性を提供し、事業の継続的な成功を確実にすることに自信を持って頼ることができます。